■ 重点注意事项：
1、人流
1-1、人员净化：
1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室；
1-3、单人空气吹淋室，应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门；
1-4、空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施；
1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。
2、物流
2-1、洁净室内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。
2-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
3、静压差
3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa；
3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa；
3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
4、根据生产要求需设计相应防静电设施。
5、电子工业洁净室空气洁净度等级表
| 空气洁净度等级（N） | 大于或等于要求粒径的最大浓度限值（pc/m³） | |||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| 1 | 10 | 2 | -- | -- | -- | -- |
| 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | -- | -- |
| 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | -- |
| 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | -- |
| 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| 7 | -- | -- | -- | 352000 | 83200 | 29300 |
| 8 | -- | -- | -- | 3520000 | 832000 | 29300 |
| 9 | -- | -- | -- | 35200000 | 8320000 | 293000 |
注：按不同的测量方法，各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。
